半导体晶圆加工

解决方案 · 防腐与工程塑料方案

半导体晶圆加工

行业痛点:晶圆加工对洁净度、耐腐蚀、抗静电和高纯度要求极高,普通工程塑料易析出污染制程。

封王 PTFE 板具有高纯度、低析出、耐腐蚀、抗静电等特性,密度 2.2g/cm³,耐温 -200℃~+260℃,适用于晶圆加工设备零部件、夹具与高纯管路部件。

使用场景

设备零部件

晶圆加工设备关键零部件。

半导体夹具

晶圆夹具与载具部件。

高纯管路

高纯化学品输送管路部件。

方案优势

高纯度

低析出,不污染晶圆。

耐腐蚀

耐酸碱与工艺化学品。

洁净稳定

适配洁净室长期运行。

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