半導體晶圓加工

解決方案 · 防腐與工程塑膠方案

半導體晶圓加工

行業痛點:晶圓加工對潔淨度、耐腐蝕、抗靜電和高純度要求極高,普通工程塑膠易析出汙染製程。

封王 PTFE 板具有高純度、低析出、耐腐蝕、抗靜電等特性,密度 2.2g/cm³,耐溫 -200℃~+260℃,適用於晶圓加工裝置零部件、夾具與高純管路部件。

使用場景

裝置零部件

晶圓加工裝置關鍵零部件。

半導體夾具

晶圓夾具與載具部件。

高純管路

高純化學品輸送管路部件。

方案優勢

高純度

低析出,不汙染晶圓。

耐腐蝕

耐酸鹼與工藝化學品。

潔淨穩定

適配潔淨室長期執行。

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常見問題(FAQ)